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产品介绍

電子氣體
功能说明

 

 
  1. 超高純半導體氣體:
  SiH4, SiH2CL2, SiH6, PH3, B2H6, ASH3, NH3, N2O, NO, CO2, BCL3, CL2, HCL, HBr, CO, CH4, H2S, GeH4, NF3, SiF4, SF6, H2Se, CF4, C2F6, C3F8, CHF3, O2, N2, Ar, He, H2。
  2. 電子激光雷射混合氣:
  HCL+N2, CO2+N2+He, CO2+CO+N2+He, F2+N2+Ne+Kr+He …。
  3. 電子用混合氣,電子用標準氣:
  SiH4+N2, SiH4+H2, HBr+N2, NF3+N2, PH3+N2, B2H6+He, GeH4+He … 或其它訂製混合氣體。
  4. 詳細的純度、混合比及鋼瓶容量請洽詢。