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電子氣體
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功能说明

 

 
  1. 超高純半導體氣體：
  SiH4, SiH2CL2, SiH6, PH3, B2H6, ASH3, NH3, NO, CO2, BCL3, CL2, HCL, HBr, CO, CH4, H2S, GeH4, NF3, SiF4, SF6, H2Se, CF4, C2F6, C3F8, CHF3, O2, N2, Ar, He, H2。
  2. 電子激光雷射混合氣：
  HCL+N2, CO2+N2+He, CO2+CO+N2+He, F2+N2+Ne+Kr+He …。
  3. 電子用混合氣，電子用標準氣：
  SiH4+N2, SiH4+H2, HBr+N2, NF3+N2, PH3+N2, B2H6+He, GeH4+He … 或其它訂製混合氣體。
  4. 詳細的純度、混合比及鋼瓶容量請洽詢。
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